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PTHC系列低溫液冷機

簡要描述:PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(晶圓測試載物臺)chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環精確控溫,液冷制冷機主要由加熱循環系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量:1945
詳情介紹

PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(晶圓測試載物臺)chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環精確控溫,液冷制冷機主要由加熱循環系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。控制系統采用PID控制技術,高清觸摸屏顯示,設有多項保護功能,確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件。

設備控溫范圍:-80℃~200℃

Chuck盤面控制溫度:-60℃

溫度穩定性:±0.1℃

制冷系統:采用雙極壓縮制冷系統

定制:可按要求定制-60℃液冷制冷機



    參數看清楚

型號

  • 設備名稱

  • 制冷方式

  • 操作面板

  • 載冷劑

  • 全密閉系統

  • 介質溫度范圍

  • 溫度精度

  • 溫度穩定性

  • 溫度反饋

  • 控溫對象

  • 顯示分辨率

  • 通信協議

  • 外部輸入

  • 存儲功能

  • 冷凝方式

  • 安全防護

液冷制冷機

  • PTHC系列低溫液冷機

  • 雙級復疊制冷

  • 7英寸彩色觸摸屏,中文顯示,操作簡便 、顯示直觀, 可顯示 、記錄 溫度曲線和測試數據

  • 氟化液或硅油

  • 管道材質:SUS304,采用全密閉式結構設計

  • -80℃ ~ 200℃

  • 出口溫度±0.5 ℃

  • ± 0.1 ℃

  • 設備導熱介質溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ,控晶圓測試chuck盤溫度

  • 設備導熱介質出口溫度 (可選擇控制物料溫度)

  • 0.01K

  • MODBUS RTU協議、RS 485接口+以太網接口

  • 外置測溫傳感器端口 、USB數據接口

  • 試驗執行時, 可實時顯示圖形曲線, 顯示內容;溫度設定實際值,執 行程序周期,程序執行中具有跳文件,保持功能。

  • 風冷

  • 設備運行狀態實時顯示,故障信息自動診斷, 多項報警保護: 電源故 障 ,壓縮機過載 、循環泵熱過載 、制冷低壓報警 、 制冷高壓報警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設計等保護功能。




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