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溫濕度調節裝置

簡要描述:溫濕度調節裝置在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環境對溫控的要求。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量:1032
詳情介紹

溫濕度調節裝置

【設備特點】

1、精確溫濕度調控:確保曝光機、顯影/ 涂布設備等制程良率

2、定制化風量設計:根據客戶的具體需求,定制風量,送風單元結構均勻布置,確保空氣流通的均勻性,進一步提升制程質量。

3、超準溫度控制:溫度控制精度高達±0.01℃,遠超行業標準,為產線環境提供了的穩定性,從而確保了產品的優良率。


【產品應用】

1、溫度控制精度:±0.1℃~±0.01℃

2、濕度控制精度:±2%RH~±1%RH

3、廣泛適用領域:該設備廣泛應用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠等精密溫濕度控制領域,助力企業提升產品質量,確保生產過程的穩定與高效。


一、溫濕度調節裝置在面板廠的應用

在面板制造過程中,對溫濕度的控制至關重要。精密恒溫恒濕機能夠為面板生產提供穩定、精確的環境。以下是精密恒溫恒濕機在面板廠的主要應用:

1、提高面板產品質量:通過精密恒溫恒濕控制,降低面板產品的缺陷率,提高產品合格率。

2、優化生產流程:穩定的環境有利于提高生產效率,降低生產成本。

3、保護設備:精密恒溫恒濕機能夠保護生產設備,延長設備使用壽命。

二、溫濕度調節裝置在晶圓廠的應用

晶圓制造對溫濕度的要求高,精密恒溫恒濕機在晶圓廠的應用主要體現在以下幾個方面:

1、提高晶圓產品質量:穩定的環境有利于降低晶圓缺陷,提高產品質量。

2、保障生產安全:精密恒溫恒濕機能夠防止靜電、氧化等不良現象,確保生產安全。

3、降低能耗:通過優化溫濕度控制,降低能耗,提高生產效益。

三、溫濕度調節裝置在封裝測試廠的應用

1、封裝測試廠對溫濕度的要求同樣嚴格,精密恒溫恒濕機在封裝測試廠的應用包括:

2、提高封裝產品質量:穩定的環境有利于降低封裝產品的缺陷率,提高產品合格率。

3、保護測試設備:精密恒溫恒濕機能夠保護測試設備,延長設備使用壽命。

4、降低生產成本:優化溫濕度控制,降低能耗,提高生產效益。





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